Etapa de movimiento de pórtico XYZT para inspección de obleas

Nuestra plataforma de movimiento de pórtico XYZT para inspección de obleas integra bases de granito de alta rigidez, guías de cojinetes de aire, unidades de motor lineal y codificadores ópticos de precisión para lograr una precisión de posicionamiento de ±1 µm y una repetibilidad de ±0,1 µm. Diseñadas para funcionar las 24 horas del día, los 7 días de la semana en entornos de sala limpia (Clase 100/Clase 10), nuestras etapas de pórtico cuentan con vibración ultrabaja, alta respuesta dinámica (velocidad máxima de 500 mm/s) y estabilidad térmica para garantizar una detección confiable de defectos de oblea y metrología dimensional durante todo el ciclo de vida de producción.

● Etapa de movimiento de pórtico XYZT personalizada para inspección de obleas diseñada según las especificaciones de su equipo de inspección de obleas y dibujos CAD.

● Precisión de posicionamiento de ±1 µm con repetibilidad a nivel nanométrico (±0,1 µm) para mediciones críticas de obleas

● Tecnología de cojinetes de aire para movimiento sin fricción y generación cero de partículas en entornos de salas blancas

● Diseño térmicamente estabilizado con control activo de temperatura (±0,01°C) para una precisión ultraalta

● Fabricación con certificación ISO 9001:2015 con trazabilidad completa para el cumplimiento de la industria de semiconductores.

Características clave y ventajas principales

Diseño mecánico de alta rigidez

Nuestra plataforma de movimiento de pórtico XYZT para inspección de obleas cuenta con bases monolíticas de granito (coeficiente de expansión térmica < 0,5 × 10⁻⁶/°C) y vigas de pórtico de polímero reforzado con fibra de carbono (CFRP) para una rigidez estructural excepcional y una deformación térmica mínima. El diseño de pórtico simétrico elimina el error de Abbe y garantiza una distribución uniforme de la carga en toda el área de inspección de obleas.

Sistema de control de movimiento de precisión

Integradas con motores lineales de alto rendimiento (juego cero, alta aceleración) y codificadores ópticos absolutos (resolución de 1 nm), nuestras etapas de pórtico XYZT ofrecen un movimiento suave y preciso con una precisión submicrónica. El algoritmo de servocontrol avanzado compensa los errores dinámicos y garantiza la estabilidad de posicionamiento a nivel nanométrico durante las operaciones de escaneo de obleas.

Diseño listo para sala limpia

Cada etapa de movimiento de pórtico XYZT para inspección de obleas está diseñada para funcionar en salas blancas Clase 100/Clase 10 con componentes compatibles con vacío, guías lineales selladas y materiales con baja desgasificación (cumple con SEMI S2-0701). La tecnología de cojinetes de aire elimina la generación de partículas, mientras que el sistema de gestión de cables incluido evita la contaminación durante los ciclos de inspección de obleas de alta velocidad.

Especificaciones técnicas

Especificaciones mecánicas

Material base: granito negro (00级) / compuesto CFRP

Sistema de guía: rodamientos de aire de precisión/guías de rodillos lineales

Sistema de accionamiento: motores lineales sin escobillas/servomotores con husillos de bolas

Comentarios: codificadores ópticos absolutos (resolución de 1 nm)

Especificaciones ambientales

● Temperatura de funcionamiento: 20±0,5°C (control térmico activo)

● Clasificación de sala limpia: Clase 100 (ISO Clase 5) / Clase 10 (ISO Clase 4)

● Aislamiento de vibraciones: sistema de control de vibraciones activo/pasivo

● Fuente de alimentación: 200-240 VCA, 50/60 Hz, monofásica/trifásica

Aplicaciones

● Escaneo de alta velocidad de obleas de 200 mm/300 mm/450 mm para detectar defectos de partículas y patrones

● Posicionamiento a nivel nanométrico para sistemas de detección de defectos ópticos/microscópicos

● Compensación dinámica de planitud para la inspección de obleas deformadas

● Integración con herramientas de inspección por escaneo láser y microscopía electrónica.

Metrología de obleas

Metrología dimensional de oblea

● Medición de precisión de los parámetros de espesor, curvatura y deformación de la oblea.

● Alineación de nivel submicrónico para sistemas de metrología superpuestos

● Posicionamiento térmicamente estabilizado para metrología sensible a la temperatura

● Metrología en línea automatizada para procesos de fabricación de obleas

Procesamiento de obleas

Procesamiento y manipulación de obleas

● Alineación de alta precisión para procesos de grabado y litografía de obleas

● Sistemas de manipulación y transferencia de obleas compatibles con salas blancas

● Posicionamiento dinámico para operaciones de corte en cubitos por láser y adelgazamiento de obleas.

● Integración con sistemas robóticos de manipulación y automatización de obleas.